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在半導體制造業中，晶圓作為芯片的基礎材料，其表面質量直接決定了最終產品的性能和可靠性。隨著技術的不斷進步，晶圓表面缺陷檢測系統已成為確保產品質量的關鍵環節。其中，切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項重要指標。切割槽是在晶圓...
隨著傳統的2D硅縮放達到其成本極限，半導體行業正在轉向異構集成-將具有不同特征尺寸和材料的多個不同組件或管芯的制造，組裝和封裝到單個設備或封裝中，以提高性能，這就是混合鍵合技術。EVG是面向MEMS、納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的供應商，近期推出了EVG®320D2W裸片制備和活化系統，這是業內弟一個用于混合硅酸鹽管芯對晶片鍵合活化和清洗系統。晶圓鍵合系統集成了D2W鍵合所需的所有關鍵預處理模塊，包括清潔，等離子體活化，芯片對準驗證和其他必要的計量工具，并...
電容式位移傳感器是一種廣泛應用于機械加工、自動化控制和精密測量等領域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移，并將其轉換為電信號輸出，具有高精度、高靈敏度、可重復性好等特點。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當兩個帶電電極之間有介質隔開時，它們之間的電容量會受到介質性能和電極間距離的影響而改變。因此，在該傳感器中，常采用平行板電容器的結構，將一個電極固定在底部的稱為靜電極，另一個電極固定在一個動態可移動的測量物體上，稱為運動極。當測量物體發生微小的位移時，運動極的位置也會發...
電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統，有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。本產品可在寬頻率范圍內進行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。工作原理：安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營造適合該設備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生...
1.簡介光學光刻（Opticallithography），也稱為光學平版印刷術或紫外光刻，是在其他處理步驟（例如沉積，蝕刻，摻雜）之前用光刻膠對掩模和樣品進行構圖的方法。2.設備（接近式光刻機）2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉器上旋轉涂布4）涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...
電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置，可以實時監測物體的位置、形態和運動狀態等。但是，在使用電容式位移傳感器時，也存在一些需要注意的問題，以下為詳細介紹：1.靜電干擾：電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感，在使用時應盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環境下，靜電干擾更加嚴重，會造成誤差的產生。2.靈敏度：本產品的靈敏度較高，因此需要進行相應的校準，以確保其精度和可靠性。校準時應注意傳感器與被測對象之間的距離、介質、溫度等因素的影響。3.溫度漂移：溫度變化會導致產品本身的參數...
