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在半導體制造業中，晶圓作為芯片的基礎材料，其表面質量直接決定了最終產品的性能和可靠性。隨著技術的不斷進步，晶圓表面缺陷檢測系統已成為確保產品質量的關鍵環節。其中，切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項重要指標。切割槽是在晶圓...
一、優勢簡介：MicroSense的高精度電容式位移傳在感器，除具有一般非接觸式儀器的共性外，還具有信噪比高、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩定性好、抗電磁干擾能力強、使用方便等優點，在國內研究所、高等院校、企業得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種非常重要的測試儀器。二、特點：1、可實現近距離、高精度、非接觸式位置測量2、分辨率可達亞納米級直至皮納米級，在所有商用電容傳感器品牌中，噪音ZUI低3、提供多種型號的探頭，以滿足高穩定性、線性或高測量帶寬等不同需求4、...
３結果與討論３.１顯影時間影響經過無掩模光刻機曝光后，目標圖案已轉移至ＩＴＯ玻璃上。將ＩＴＯ玻璃放置于加熱板上進行加熱，烘除光刻膠中的殘留溶劑、水分，使光刻膠與ＩＴＯ玻璃結合更加緊密，此時，經過曝光的光刻膠與未曝光的光刻膠在顯影液中會存在明顯的溶解速度差。將自然冷卻后的ＩＴＯ玻璃浸沒于ＳＵ－８光刻膠專用顯影液中，由于本實驗中采用的光刻膠為負膠，因此顯影目的是為了除去曝光區域以外的光刻膠。該方法的核心問題是控制顯影時間。圖２為經過不同顯影時間后，在Ｔｉ－Ｅ顯微鏡下觀察到的光刻膠...
厚度電阻率測試是一種用于測量材料電阻率的方法，它可以幫助工程師評估材料的質量和可靠性。該測試通常通過將兩個探頭放在材料的表面上，然后測量它們之間的電阻來完成。厚度電阻率測試有以下幾個特點：1.非破壞性：與其他測試方法不同，它是一種非破壞性的測試方法。這意味著對于需要保留完整性、外觀或功能的材料，您可以快速檢查其電阻率而無需損壞樣品。因此，它是一種非常有用的測試方法，尤其適用于生產線上的大批量材料測試。2.精確性高：該測試可以提供非常準確的結果。通過使用精密加工的探頭以及計算機...
１引言ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）又稱氧化銦錫，是一種銦錫金屬氧化物，因其具有光學透明性［１］、高導電性［２］、易加工性［３］及柔性潛力［４］等優點，目前在光電檢測、生物芯片及微納器件等領域得到了廣泛應用，例如加工成熱光伏系統濾波器［５］、紅外輻射反射鏡涂層［６］、表面等離子體共振材料［７］等。在實際應用中，ＩＴＯ通常需先加工成各種形狀的電極，但由于曝光精度低、刻蝕工藝參數難以控制等原因，ＩＴＯ電極特征尺寸無法進一步降低。目前將ＩＴＯ加工成電極的方法多種多樣，主要分...
主動減震臺是一種地震工程中常用的結構控制技術，其主要作用是通過主動地對建筑物進行控制，以減小地震對建筑物的破壞，并保護人們的生命財產安全。該技術使用一系列的傳感器、計算機、執行器等設備來實現對建筑物結構的實時監測和調節，從而有效降低地震對建筑物的影響。主動減震臺的特點主要包括以下幾個方面：1.高效的減震能力：主動減震臺采用多種減震技術，如電液伺服閥、壓電陶瓷等，可以實現高效的減震效果。與傳統的被動減震技術相比，它可以更加精確地控制建筑物的振動，進而達到更好的減震效果。2.靈活...
